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MEMS元件/装置

main-pressure-mems-elements
MEMS元件/装置概述

我们具有成本效益的MEMS解决方案包括表面安装封装里的压力传感器(完全校准和放大的或数字输出类型)和适于恶劣环境的介质隔离技术。

MEMS元件/装置

  • link-P1602-elements


    P1602
    P1602是一个超微压阻式绝对压力传感器芯片。


  • link-P1302-elements


    P1302
    P1302是一个高灵敏度硅压阻式压力传感器芯片,适用于测量低压。


  • link-P161-elements


    P161
    P161是一个超微硅压阻式压力传感器芯片,适用于监控导管尖。


  • link-P112-elements


    P112
    P112是利用我们专利SenStable®技术的一个通用的硅压阻式感压原件。


  • link-P122-elements


    P122
    P122压阻式压力传感器:呈现出一个小型0.10in x 0.10in (2.5 mm x 2.5 mm)芯片的外观。


  • link-P562-elements


    P562
    The P562压阻式压力传感器是专门为医疗应用而设计的。


  • link-P111-elements


    P111
    P111是利用我们专利项目SenStable®技术的一个通用的硅压阻式感压原件。


  • link-P1300-elements


    P1300
    NovaSensor P1300压阻式压力传感器呈现出一个小型2.7mm x3.2mm芯片的外观。

  • link-P883-elements


    P883
    P883可以选择性地利用一个粘合的玻璃底座来提供热和芯片固定两者的压力绝缘。


 

 

P1602

P1602 - Pressure Sensor Die
P1602是一个超微压阻式绝对压力传感器芯片。除了从我们专利项目SenStable®技术获得的优越的稳定性之外,P1602利用了一个硅熔联结绝对压力参考共振腔来获得优越的可靠性。









 

特点

  • 固态,高可靠性
  • 廉价,微型
  • 标准压力范围:0到15, 0到0, 0到50, 0到100 psia (1, 2.1, 3.4和6.9 bar)
  • 非线性率 < 0.2 %FSO
  • SenStable®,硅熔联结传感器芯片

P1602压阻式压力传感器呈现出一个小型0.04inx0.04in (1mm x 1mm)芯片的外观。当用1.0mA恒流激励P1602时,它会产生与输入压力成比例的毫伏输出量。P1602可作为一个绝对压力传感器使用。

在施加压力被标识为密封在芯片的内部真空时。有了GE的SenStable®技术,P1602具有很低的长期稳定性误差和出色的重复性。

应用

  • 家用:便携式轮胎气压表,高度计,气压计
  • 工业:气动控制器,泄漏探测,压力计,便携式压力表,压力开关和控制器
  • 汽车:轮胎压力,诊断程序,发动机和悬架控制,MAP传感器。
  • 医疗病患监护和诊断仪器

规格

P1602

P-1602-Tb1

 

订购信息

 

P-1602-Tb2
 

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说明 English
P1602 Brochure acrobat-reader
Sensors for healthcare acrobat-reader
Temperature resistance curves acrobat-reader
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P1302

High Sensitivity Silicon Piezoresistive Pressure Sensor
P1302是一个高灵敏度硅压阻式压力传感器芯片,适用于测量低压。除了我们的专利SenStable® 技术带来的优越的稳定性之外,P1302包含了一个粘合的玻璃底座来提供热和芯片连接应力隔离。











 

特点

  • 高可靠性,固态硅压力传感器。
  • 在差压类型下适用
  • 标准压力范围:10 in H2O (2.5 kPa), 1 psi (7 kPa)
  • 非线性率 < 0.25% FSO
  • 5X 超压极限

 

应用

  • 过程控制系统
  • HVAC
  • 呼吸器
  • 舱体压力

规格

P1302压阻式压力传感器呈现出一个小型0.11in x 0.13in (2.7mm x3.2mm)芯片的外观。当用1.0mA激励P122时,它会产生与输入压力成比例的毫伏输出量。P1302可作为差压和表压传感器使用。有了NovaSensor的SenStable®技术,P1302会提供很好的长期稳定性和出色的重复性。

P1302


1302-tb1

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P1302 Brochure acrobat-reader
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NovaSensor硅压力传感器P161NovaSensor P161 Silicon Pressure Sensor

P161是一个超微硅压阻式压力传感器芯片,适用于监控导管尖的压力。P161利用硅融接来在小型为主导的产业里提供尖端性能。










 

特点

  • 微小型
  • 标准压力范围 –50 ~ 300 mmHg
  • AC或DC激励
  • 4000 mmHg 突发速率

 

应用

  • IUP
  • 颅内的
  • 一次性导管

 

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说明 English
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P112

P112: Medium Pressure Sensors

P112是利用我们专利SenStable®技术获得优越稳定性的一个通用的硅压阻式感压原件。P112也利用了一个粘合的玻璃底座来提供热和芯片两者的固定压力绝缘。



 

特点

  • 高可靠性,固态硅压力传感器
  • 在绝对、差压和表压类型下适用
  • 非线性 < .25 % FSO
  • 可以进行温度补偿来消耗电压或电流供给。
  • 2X过压能力

应用

  • 过程控制系统
  • 气动控制
  • 生物医疗控制
  • 液压系统

 

规格

NovaSensor P112压阻式压力传感器呈现出一个小型2.7mm x 3.2mm(0.10in x 0.12in))芯片的外观。当用1.0mA激励P122时,它会产生与输入压力成比例的毫伏输出量。P122作为一个绝对压力传感器在介质压力被标识为密封在芯片的内部真空时是可被使用的。P112也可以作为差压和表压传感器来使用。有了NovaSensor的SenStable®技术,P1112会提供很好的长期稳定性和出色的重复性。有了NocaSensor的“平坦式程序”,P112可以为一个恒流或一个恒压电源进行温度补偿。

P112

 

P112-1

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说明 English
P112 Brochure acrobat-reader
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P122

P122: Silicon Pressure Sensors

P122压阻式压力传感器呈现出一个小型0.10in x 0.10in (2.5 mm x 2.5 mm)芯片的外观。当用1.0mA激励P122时,它会产生与输入压力成比例的毫伏输出量。



 

特点

•高可靠性,固态硅压力传感器。

•在绝对压力类型下适用

• 标准压力范围:0到1700,0到3500,0到17000和0到350000kPa

•非线性率< 0.25% FSO

•2X过压能力


 

应用

•过程控制系统

•气动控制装置

•生物医疗仪器

•液压系统


 

规格

P122压阻式压力传感器呈现出一个小型0.10in x 0.10in (2.5 mm x 2.5 mm)芯片的外观。当用1.0mA激励P122时,它会产生与输入压力成比例的毫伏输出量。P122可用作绝对压力传感器,其中介质压力可作为密封在芯片的内部真空的基准。有了GE的SenStable®技术,P122会提供很好的长期稳定性和出色的重复性。

参数值单位注释

一般

压力范围 1700 KPaG ?250 psi (-1.03 bar)

3500 KPaA ?500 psi (-2.06 bar)

7000 KPaA ?1000 psi (-6.89 bar)

35000 KPaA ?5000 psi

最大过压 2X 额定压力

 

在 25°C (77°F)下的电气性能,除非另有说明

激励信号最大值 1.0 mA 10 VDC

输入阻抗 5000 ±20% ?

输出阻抗 5000 ±20% ?

环境

温度范围

工作 -40 to 257 °F (-40°C to 125°C)

贮存(undiced)-67 ~ 302 °F (-55°C ~ 150°C)

机械

重量 0.00008 lb (0.04 g)

介质兼容性 纯净干燥气体

非腐蚀性气体

性能参数 (1)

值 (6) 单位 备注

零点误差 ±50 mV 1

满量程输出(FSO) 240 ±35 mV 6

线性度 ±0.25 %FSO 2

压力迟滞性 ±0.05 %FSO

温度系数 ±30 :V/V/°C 3

电阻温度系数 0.27 % /°C 3

灵敏度温度系数 -0.19 %FSO/°C 3

零点热迟滞 0.2 %FSO 3

满量程长期稳定性 0.2 %FSO 4

 

1. 绝压传感器0 KPaA, 差压或表压传感器 0 KPaG。

2. 最佳拟合直线。

3. 在32°F和158°F 之间(0°C 和70°C)

4. 典型值超过一年。

5. 所有测量值都是在77°F (25°C)和1 mA激励下测量,除非另有说明。

6. 51009和51013为133 ± 33 mV

P122-1


P122-2

 

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P122 Brochure acrobat-reader
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P562

P562 Piezoresistive Pressure Sensor

P562压阻式压力传感器是专门为医疗应用而设计的。 低线性度误差和低输入输出阻抗使P562成为一次性压力传感器芯片的一个业界标准。



 

特点

• 高度可靠的硅压力传感器

•对于一次性应用价格便宜

• 0到100 mmHg压力范围

• 耐辐射设计

•线性度误差在生理学压力范围内小于1%


 

应用

•一次性压力感测器(DPT)

•宫腔内压 (IUP)

•生物医疗仪器

•输液泵


 

规格

说明

GE的P562压阻式压力传感器是专门为医疗应用而设计的。 低线性度误差和低输入输出阻抗使P562成为一次性压力传感器芯片的一个业界标准。由于更新的灭菌方法,这个传感器芯片为耐辐射设计。焊线位于一侧使DPT和IUP的包装宽度最小化。根据补偿电路选择一个敞口桥式焊线配置。灵敏度可以被外部电路轻易地改变,从而达到AAMI标准下的5 :V/V/mmHg灵敏度。


 

P562-1

P562

运输和装运

所有晶片用防护箱运输。晶片用塑料环缝在胶带上。所有晶片均经过电气检测和外观检查。每个晶片的样本都验证偏移量、满量程输出及线性度。电力次品涂有红色圆点。外观缺陷次品涂有蓝色圆点。每个晶片都会有下列信息:批量编号,晶片号码,设备编号和优质芯片号。

 

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P111

P111: Silicon Piezoresistive Pressure Sensors P111是利用我们专利SenStable®技术获得优越的稳定性的一个通用的硅压阻式感压原件。P111也利用了一个粘合的玻璃底座来提供热和芯片两者的固定压力绝缘。







 

特点

  • 高可靠性,固态硅压力传感器
  • 在绝对压力和差压类型下适用
  • 标准压力范围:0到100, 0到200和 0到700 kPa
  • 非线性 < 0.25% FSO
  • 2X过压能力

 

应用

  • 过程控制系统
  • 气动控制器
  • 生物医疗仪器
  • 液压系统

 

规格

 GE的P111压阻式压力传感器呈现出一个小型0.10inx 0.12in (2.7mm x3.2mm)芯片的外观。当用1.0mA激励P111时,它会产生与输入压力成比例的毫伏输出量。P111作为一个绝对压力传感器在介质压力被标识为密封在芯片的内部真空时是可被使用的。P111也可以作为差压和表压传感器来使用。有了NovaSensor的SenStable®技术,P111会提供很好的长期稳定性和出色的重复性。传感器芯片有一个63mil的玻璃束缚层。若想获得更厚的绝缘束缚层,请与工厂联系。

P111-1

P111



 

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P1300

NovaSensor P1300 Piezoresistive Pressure Sensor

NovaSensor P1300压阻式压力传感器呈现出一个小型2.7mm x3.2mm芯片的外观。当用1.5mA激励P1300时,它会产生与输入压力成比例的毫伏输出量。有一个恒压电源传感器就会运转;但是,灵敏度会改变–0.23%/°C。P1300可以作为差压和表压传感器来使用。NovaSensor的SenStable®程序会提供很好的长期稳定性和出色的重复性。芯片基底必须和电源正极相连,以便保持良好的长期稳定性。为了达到这个目的,+INa要和传感器及基底垫(有一个“S”标记)相连。



 

特点

  • 高可靠性,固态硅压力传感器。
  • 标准压力范围:2.5 kPa (0.3 psi)和7 kPa (1 psi)
  • 5X过压能力

 

应用

  • 过程控制系统
  • HVAC
  • 舱体压力,呼吸器。

 

规格

P1300

P-1300-Tb3

 

P1300低压传感器芯片规格


P-1300-Tb1

 

订购信息


P-1300-Tb2
 

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P883

P883 Pressure Sensing Element

P883是利用我们专利SenStable®技术获得优越稳定性的一个通用的硅压阻式感压元件,而且它特别适合最高成本的高容量应用。P883可以选择性地利用一个粘合的玻璃底座来提供热和芯片连接应力隔离。








 

特点

  • 高度可靠,固态
  • 在绝压或表压(差压)下适用
  • 适用于不同的玻璃厚度或完全没有玻璃(如需更多信息,请与GE联系)
  • 设计为可用恒流或恒压进行温度补偿。
  • NovaSensor的专有SenStable®技术会带来出色的长期稳定性

应用

  • 液位传感
  • 汽车系统
  • 过程控制
  • 气动控制器
  • 液压系统

规格

说明

P883在一个惠斯通电桥电路里利用了四个等值的压电电阻器。当被激励时((1.0 mA, DC),P883产生一个与施加压力有直接比例的差动毫伏输出信号。可作为表压(差压)或绝对传感器来用,P883同样为在一个广泛的温度范围内降低温度滞后而设计。所有芯片都经过外观检查和电气检测来验证零点偏移每个晶片的样品都进行了灵敏度、线性度和温度系数的测试。

P883


P-883-Tb1

 

订购信息

 

P-883-Tb2
 

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